UV-KUB 9
Sistema de Fotolitografía LED UV para Superficies Grandes
El UV-KUB 9 es el primer sistema de enmascaramiento basado en LED UV del mercado internacional.
Es un dispositivo de exposición UV frío basado en LED que emite una densidad de alta potencia homogénea y monocromática (200 mW/cm² +/- 5 %) a 365 nm en una superficie de trabajo de 9″.
Es el equipo ideal para aplicaciones de wafer bonding, temporary bonding y blue tape.
Alta Densidad de Potencia con Total Seguridad
Una Fuente Basada en LED-UV
Este sistema utiliza una fuente de luz de alta potencia ajustable en UV frío; además esta fuente no colimada es homogénea dentro de +/- 5% en una superficie de trabajo de 9″.
Un Sistema Seguro y Fácil de Usar
La apertura y cierre del cajón para la inserción y extracción de obleas y mainframes es manual y garantiza una perfecta protección del usuario contra cualquier exposición a los rayos UV.
Todas las funciones del equipo están controladas por pantalla táctil: su uso es, por lo tanto, práctico, fácil y no requiere un ambiente tipo sala limpia.
Aislamiento Bajo UV de Cinta Azul
El portamuestras puede acomodar obleas de 4″, 6″ y 8″ de diámetro y mainframes de corte de 7″ y 9″ para la exposición UV de la cinta azul de corte.
El tiempo de insolación para la inhibición de la «cinta azul» a plena potencia es del orden de 20 segundos.
Especificaciones
- Peso: 22 kg
- Pantalla táctil a color: 5,7″
- Fuente de alimentación: 220V / 50Hz
- Consumo: 800 W
- Tiempo de exposición: ADWILL D650-15s
- Tiempo de exposición: ADWILL D175 P370-45s
- Longitud de Onda: 365 nm +/- 5nm
- Densidad de Potencia: 200mW / cm2
- Calentamiento del sustrato durante la exposición: < 2º C
- Ciclo de Exposición: entre 1s y 1h
- Cantidad de ciclos programables: 10
Aplicaciones
El equipo UV-KUB 9 de fotolitografía por curado LED UV puede ser utilizado para las siguientes aplicaciones:
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