UV-KUB 2
Sistema de Fotolitografía LED UV por Enmascaramiento
El UV-KUB 2 es el primer sistema de enmascaramiento basado en LED UV del mercado internacional.
Es un enmascarador de exposición UV frío compacto, equipado con un cabezal óptico basado en LED colimado y homogéneo, disponible para obleas de 4″ o 6″.
Dedicado a la fotolitografía UV por enmascaramiento, este equipo permite alcanzar resoluciones inferiores a 1 µm.
Es compatible con todas las resinas de fotolitografía estándar como AZ, Shipley, SU8 y K-CL.
Un Nuevo Enfoque para Enmascarar
Al estar basado en LED UV, la aportación calórica a la muestra es muy baja, esto reduce drásticamente los posible daños térmicos ocasionados por la fuente de luz.
Ideal para Laboratorio o Sala Blanca
Por su configuración hermética, UV-KUB 2 es un equipo de exposición ideal para los entornos más exigentes.
Es compacto, pequeño, robusto y totalmente seguro; al estar completamente cerrado no es necesario el uso de gafas de protección contra la radiación UV.
Además es posible usar distintos modos de contacto: duro o blando.
Equipo de Laboratorio Muy Versátil
Es un equipo muy útil para laboratorios que trabajen en microfluídica, circuitos de óptica integrada y microestructuración superficial por fotolitografía.
Especificaciones
- Peso: 8,2 kg
- Pantalla táctil a color: 5,7″
- Fuente de alimentación: 220V – 50Hz
- Consumo: 180 w
- Resolución: 1 µm
- Longitud de onda: 365 nm
- Densidad de Potencia: 40 mW/cm2
- Calentamiento del sustrato durante la exposición: <1ºC
- Ciclo de exposición: entre 1s y 18 h
- Cantidad de ciclos programables: 10
Aplicaciones
El equipo UV-KUB 2 de fotolitografía por curado LED UV puede ser utilizado para las siguientes aplicaciones:
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