UV-KUB 3
Sistema Alinador de Máscaras LE UV Compacto
El alineador de máscaras UV-KUB 3 es el primer alineador de máscaras equipado con una fuente LED-UV en el mercado internacional, que proporciona una calidad de colimación sin igual y una exposición homogénea.
Compacto, fácil de usar y eficiente, el UV-KUB 3 permite la alineación de máscaras de hasta 7″ con sustratos de hasta 6″ en el espacio contenido de un cubo de solo 48cm de lado.
Gracias a su portamáscaras extraíble, la manipulación de máscaras frágiles se reduce considerablemente: puedes cambiar el sustrato tantas veces como quieras, sin tocar la fotomáscara.
Compatible con todas las resinas de fotolitografía convencionales como AZ, Shipley, SU8 y K-CL.
Un Nuevo Enfoque para la Alineación de Máscaras
La nueva generación de alineadores de máscara UV-KUB 3 está especialmente indicada para la producción, por fotolitografía, de sistemas microfluídicos, circuitos ópticos integrados, microelectrónica, MEMS,…
Totalmente seguro gracias a su tapa hermética al polvo, este equipo es la única solución del mercado que democratiza la fotolitografía de precisión sin necesidad de un entorno tipo sala limpia.
Resolución y Precisión de Alineación
Su diseño permite producir microestructuras de menos de 1 µm en toda la superficie de trabajo de 4″ o 6″ según la versión con una precisión de alineación inferior a 1 µm.
Sistema Compacto de Alineación de Máscaras
Más allá de su tamaño reducido, su estructura portante interna lo exime de la necesidad de una mesa antivibratoria, que combinado con un consumo de energía reducido, el UV-KUB 3 es la herramienta ideal para controlar los costos operativos.
Soporte de Máscara Extraíble
El soporte de la máscara es extraíble: puedes cambiar el sustrato tantas veces como quieras, sin tener que tocar la máscara, lo que ahorra mucho tiempo en el modo de producción, y por lo tanto, mejora la eficiencia de la función de prealineación automática.
Especificaciones
- Peso: 55 kg
- Control de desplazamiento: mando por USB o inhalámbrico (24 teclas)
- Pantalla táctil a color: 15,6″
- Fuente de alimentación: 220V – 50Hz
- Consumo: 180 W
- Resolución: 1 µm
- Tamaño del sustrato aceptado: obleas de hasta 6″
- Resolución de alineamiento: inferior a 2 µm
- Resolución de la distancia entre máscara y sustrato: 0,5 µm
- Resolución de desplazamiento del sustrato XYZ: 0,4 µm (0,2 µm opcionalmente)
- Longitud de Onda: 365 nm
- Densidad de Potencia: 35 mW / cm2
- Calentamiento del sustrato durante la exposición: < 1º C
- Ciclo de Exposición: entre 1s y 18h
Aplicaciones
El equipo UV-KUB 3 de fotolitografía LED UV con alineador de máscaras puede ser utilizado para las siguientes aplicaciones:
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